●主要技术参数：
t
单位
KGPS-100
KGPS -160
KGPS -200
KGPS -250
坩埚有效容积（直径×高）
mm
Φ50×300
Φ150×600
Φ2000×500
Φ400×750
中频电源功率
Kw
80
100
200
250
中频电源频率
Hz
8000
4000
2500
工作温度
℃
3200
3000
极限真空度
Pa
1.2×10-1
压升率
Pa/h
2
恒温区温差
±10
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